Rigaku发布无损检测3D闪存缺陷技术获半导体光刻国际学会最高奖项
Rigaku Holdings Corporation旗下的株式会社Rigaku(东京都昭岛市)宣布开发出了利用超高分辨率X射线显微镜对3D闪存缺陷进行无损检测和测量的突破性技术,并凭借此项研究成果获得了半导体光刻技术领域最佳论文奖“The Diana Nyy
Rigaku Holdings Corporation旗下的株式会社Rigaku(东京都昭岛市)宣布开发出了利用超高分辨率X射线显微镜对3D闪存缺陷进行无损检测和测量的突破性技术,并凭借此项研究成果获得了半导体光刻技术领域最佳论文奖“The Diana Nyy
2025 年 9 月 4 日,Rigaku Corporation(全球 X 射线分析系统解决方案伙伴,Rigaku Holdings Corporation 旗下集团公司,总部:东京昭岛市;总裁兼CEO:Jun Kawakami,以下简称 “Rigaku”)
innovation rigaku innovationco 2025-09-09 17:32 6